技術(shù)編號：39416073
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及晶圓清洗，更具體地說，涉及一種用于晶圓蝕刻加工的可調(diào)式清洗花籃。背景技術(shù)、晶圓片又稱硅晶片，是一種由硅錠加工而成的產(chǎn)品，在半導(dǎo)體、碳化硅、藍(lán)寶石及太陽能光伏等多個行業(yè)中均有所應(yīng)用，在晶圓片蝕刻加工過程中，必不可少的一道處理流程就是對晶圓片的化學(xué)清洗，通過清洗不僅可以去除附著在晶圓片表面的原子、離子、分子、有機(jī)沾污或顆粒等雜質(zhì)，還能夠?qū)崿F(xiàn)對晶圓片的拋光和定向腐蝕等，該過程是將多片待處理的晶圓放置于清洗花籃中，再將清洗花籃浸沒于清洗箱內(nèi)進(jìn)行蝕刻清洗。、傳統(tǒng)的清洗花籃結(jié)構(gòu)一般只能對單一尺...
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