技術(shù)編號(hào)：39473362
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及加熱棒連接結(jié)構(gòu)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于尾氣處理設(shè)備的高溫加熱棒連接結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)、碳化硅外延層加工時(shí)會(huì)產(chǎn)生尾氣，直接排放會(huì)加重環(huán)境污染，為減少環(huán)境污染會(huì)將產(chǎn)生的尾氣通入到的加熱腔內(nèi)部進(jìn)行加熱處理，使得處理后的尾氣可以達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)。、碳化硅外延工藝尾氣處理設(shè)備中的加熱棒一般通過(guò)螺絲直接固定在加熱腔的內(nèi)頂部，而加熱棒在使用時(shí)會(huì)產(chǎn)生-度高溫，螺絲長(zhǎng)時(shí)間處于高溫環(huán)境下，容易出現(xiàn)螺絲的變形，使得加熱棒在后期維護(hù)更換難以拆卸，還會(huì)導(dǎo)致加熱棒末端溫度偏高，影響加熱棒內(nèi)部的導(dǎo)線等電子元器...
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該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。
該類(lèi)技術(shù)注重原理思路，無(wú)完整電路圖，適合研究學(xué)習(xí)。