技術(shù)編號(hào)：39559188
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。【】本發(fā)明涉及mems(micro-electro-mechanical?system，微機(jī)電系統(tǒng))器件領(lǐng)域，尤其涉及一種具有兩個(gè)獨(dú)立空腔的mems裝置及其制造方法。背景技術(shù)、【背景技術(shù)】、mems電容式加速度計(jì)以其尺寸小，低成本，性能優(yōu)良，廣泛應(yīng)用于消費(fèi)電子，物聯(lián)網(wǎng)，以及工業(yè)測量領(lǐng)域。消費(fèi)電子競爭愈演愈烈，對成本、集成度提出了新的要求。為了達(dá)到這一目的，目前的軸產(chǎn)品(軸加速度計(jì)軸陀螺儀)由原來加速度計(jì)，陀螺儀分別位于兩顆獨(dú)立的芯片上向在同一顆芯片上加工出陀螺儀和加速度計(jì)的方式轉(zhuǎn)變，...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。