技術編號：39560742
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及微納米定位，具體涉及一種六自由度大行程柔性微納米末端定位平臺。背景技術、隨著納米技術、生物技術、信息技術和先進制造技術的飛速發(fā)展，六自由度微納米末端定位平臺在精密工程領域發(fā)揮著越來越重要的作用，廣泛應用芯片制造于光學、生物醫(yī)學、納米光刻、超精密加工、掃描探針檢測和微納操作等諸多領域。如在步進掃描光刻機中，承片臺和掩模臺采用宏微二級定位，微動臺需要在±μm和±m(xù)rad的行程范圍內(nèi)進行六自由度納米定位。在微納米末端定位平臺技術領域，柔性機構是微納米末端定位平臺機構本體的重要手段，...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。