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      開(kāi)關(guān)器件及其制備方法、電子設(shè)備與流程技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):39572830

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      本申請(qǐng)涉及開(kāi)關(guān)器件,尤其涉及一種開(kāi)關(guān)器件以及制備方法、電子設(shè)備。背景技術(shù)、射頻移相器、可調(diào)濾波器、可切換射頻衰減器、可重構(gòu)天線等電子元器件中通常包括開(kāi)關(guān)器件。微機(jī)電系統(tǒng)(micro-electro-mechanical?system,簡(jiǎn)稱mems)是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的多學(xué)科交叉的新型傳感器,具有體積小、重量輕、功耗低、易于集成等特點(diǎn)。相關(guān)技術(shù)中,利用mems技術(shù)制備的開(kāi)關(guān)器件工藝難度高、良品率低。技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、本申請(qǐng)的實(shí)施例提供一種開(kāi)關(guān)器件及其制備方法、電子設(shè)備,開(kāi)關(guān)器件的工藝簡(jiǎn)單...
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