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      流體控制裝置和基板處理裝置的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):39611393

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      本公開(kāi)涉及一種流體控制裝置和基板處理裝置。背景技術(shù)、已知有一種帶儲(chǔ)罐室的塊閥,具有:氣體供給流路,其用于使從氣體供給源供給的氣體流向工藝腔;以及分支通路,其從氣體供給流路分支且與真空泵連接,其中,在分支通路的中途設(shè)置有儲(chǔ)罐室(例如,參照專利文獻(xiàn))。、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)、專利文獻(xiàn)、專利文獻(xiàn):日本特開(kāi)平-號(hào)公報(bào)技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、發(fā)明要解決的問(wèn)題、本公開(kāi)提供一種能夠在短時(shí)間內(nèi)供給大流量的處理氣體的技術(shù)。、用于解決問(wèn)題的方案、基于本公開(kāi)的一個(gè)方式的流體控制裝置用于控制向處理容器內(nèi)...
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