技術(shù)編號(hào):39611393
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本公開(kāi)涉及一種流體控制裝置和基板處理裝置。背景技術(shù)、已知有一種帶儲(chǔ)罐室的塊閥,具有:氣體供給流路,其用于使從氣體供給源供給的氣體流向工藝腔;以及分支通路,其從氣體供給流路分支且與真空泵連接,其中,在分支通路的中途設(shè)置有儲(chǔ)罐室(例如,參照專利文獻(xiàn))。、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)、專利文獻(xiàn)、專利文獻(xiàn):日本特開(kāi)平-號(hào)公報(bào)技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、發(fā)明要解決的問(wèn)題、本公開(kāi)提供一種能夠在短時(shí)間內(nèi)供給大流量的處理氣體的技術(shù)。、用于解決問(wèn)題的方案、基于本公開(kāi)的一個(gè)方式的流體控制裝置用于控制向處理容器內(nèi)...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。