技術(shù)編號(hào)：39613852
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及加熱帶安全防護(hù)，具體為一種工業(yè)管道加熱帶安全保護(hù)裝置。背景技術(shù)、半導(dǎo)體制造工藝中，半導(dǎo)體制造設(shè)備設(shè)置有真空腔，真空腔連接有管道，會(huì)有多種氣體通過管道向真空腔內(nèi)輸送氣體參與反應(yīng)，氣體與水分或空氣中的氧氣發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，會(huì)形成固體性的酸化物。其中，為了消除管道內(nèi)部工藝氣體與水分或空氣中氧氣反應(yīng)產(chǎn)生的固體酸化物，避免固體酸化物堆積造成管道堵塞，影響氣體流通的順暢，需要對(duì)管路進(jìn)行加熱以保持溫度，且為了更安全地使用加熱帶，需要用到安全保護(hù)裝置，從而安全控制加熱帶正常工作。、進(jìn)一步地，整個(gè)行業(yè)中...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。
該類技術(shù)注重原理思路，無(wú)完整電路圖，適合研究學(xué)習(xí)。