技術(shù)編號(hào):39618329
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及納米壓印,具體為一種附帶穩(wěn)定驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的納米壓印設(shè)備。背景技術(shù)、納米壓印技術(shù)是一種用于制造納米級(jí)結(jié)構(gòu)的制程技術(shù),它通過(guò)物理壓印的方式,將預(yù)先設(shè)計(jì)好的圖案與結(jié)構(gòu)直接轉(zhuǎn)印到目標(biāo)材料上,從而實(shí)現(xiàn)納米級(jí)特征的圖案轉(zhuǎn)移。在納米壓印技術(shù)中,物理壓印過(guò)程中所需的正向力和時(shí)間的控制也是實(shí)現(xiàn)納米壓印技術(shù)的關(guān)鍵。、驅(qū)動(dòng)精度是一個(gè)關(guān)鍵因素,它直接影響到壓印后結(jié)構(gòu)的質(zhì)量和一致性,納米壓印過(guò)程中,需要保證模板施加壓力的方向需要垂直于襯底表面,以此為前提,即需要保證模板與襯底之間相互平行,進(jìn)而才能保證在壓印期間...
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