技術(shù)編號：39618361
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本申請涉及集成光學(xué)傳感，特別涉及一種集成光學(xué)芯片及其制造方法、光學(xué)陀螺儀。背景技術(shù)、光學(xué)陀螺儀是一種用于檢測運(yùn)動物體方位的光學(xué)傳感儀器，光學(xué)陀螺儀在武器制導(dǎo)、航天航空、自動化控制等領(lǐng)域得到廣泛運(yùn)用。隨著技術(shù)的發(fā)展，光學(xué)陀螺儀的研究不斷的在朝著芯片化的方向發(fā)展，以提高光學(xué)陀螺儀結(jié)構(gòu)緊湊度，降低光學(xué)陀螺儀的體積與重量。、集成光學(xué)技術(shù)的快速發(fā)展為光學(xué)陀螺儀的小型化、低成本和低功耗指明了前進(jìn)方向。采用單片集成方案將光學(xué)陀螺儀分立光學(xué)器件，例如光源、探測器、耦合器、偏振分束器、相位調(diào)制器和干涉環(huán)等全部...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。