技術(shù)編號：39618843
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本申請涉及晶圓載具搬運(yùn)，尤其是指一種夾取裝置。背景技術(shù)、在半導(dǎo)體的加工過程中，需要使用天車將晶圓載具夾持并在各個工藝機(jī)臺和緩存區(qū)之間進(jìn)行來回搬運(yùn)，晶圓放置在晶圓載具內(nèi)。為了防止在搬運(yùn)過程中出現(xiàn)晶圓在晶圓載具內(nèi)竄動、磕碰、甚至掉落導(dǎo)致晶圓損壞的情況，會要求在天車搬運(yùn)晶圓載具時，保持晶圓載具的平穩(wěn)運(yùn)行，從而達(dá)到保護(hù)晶圓的目的。、對于開放式的晶圓載具來說，在晶圓載具的一端具有開口，以便于晶圓在晶圓載具內(nèi)進(jìn)行放置和拿取。但是開放式結(jié)構(gòu)的晶圓載具無法對內(nèi)部的晶圓進(jìn)行掉落防護(hù)，從而在搬運(yùn)的過程中，晶圓極...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。