技術(shù)編號：39620488
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于光通信領(lǐng)域，具體涉及一種基于薄膜鈮酸鋰單次刻蝕形成的亞波長光柵結(jié)構(gòu)端面耦合器。背景技術(shù)、在集成光學領(lǐng)域，薄膜鈮酸鋰材料因其優(yōu)異的電光特性和可集成能力受到了研究人員廣泛的青睞。由薄膜鈮酸鋰制備的高速電光調(diào)制器、光學頻率梳、非線性頻率轉(zhuǎn)換器等集成光學器件都展現(xiàn)了十分出色的性能。、在實際應用中，將光從光纖耦合到鈮酸鋰片上波導的過程是至關(guān)重要的。目前，光纖與波導的耦合主要通過光柵耦合或端面耦合實現(xiàn)。其中，光柵耦合存在耦合損耗高、帶寬窄、且對光的偏振態(tài)敏感的問題。而端面耦合器的制備工藝較為復...
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