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技術(shù)編號：39621313

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本發(fā)明涉及復(fù)合材料燒結(jié)體。背景技術(shù)、對于半導體工藝中高溫化的靜電卡盤，為了散熱，接合有冷卻板。例如，已知有作為靜電卡盤的材料為氧化鋁時的冷卻板的構(gòu)成材料而優(yōu)選的由碳化硅、硅化鈦、鈦碳化硅及碳化鈦形成的復(fù)合材料的致密質(zhì)的燒結(jié)體(例如參見專利文獻)。該復(fù)合材料燒結(jié)體具有：與氧化鋁的線熱膨脹系數(shù)之差小、致密且高強度的特征。、另外，還已知有作為靜電卡盤的材料為氮化鋁時的冷卻板的構(gòu)成材料而優(yōu)選的由碳化硅、鈦碳化硅及碳化鈦形成的復(fù)合材料的致密質(zhì)的燒結(jié)體(例如參見專利文獻)。該復(fù)合材料燒結(jié)體具有：與氮...
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