技術編號：39621437
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本公開涉及柔性傳感，尤其涉及一種適用于檢測晶圓的誤差不敏感巨量探針裝置及其制備方法。背景技術、基于探針裝置對晶圓進行檢測，是芯片制造中必不可少的步驟。通過檢測晶圓可以對芯片的制造進行流程控制、失效分析和故障診斷等流程。探針裝置可以檢測晶圓的電學、熱學和光學性能。、在實現本公開實施例的過程中，發(fā)明人發(fā)現，相關技術的用于檢測晶圓的探針裝置存在易損傷晶圓、精度較低和加工難度大等不足。技術實現思路、為至少部分地克服上述提及的至少一種或者其它發(fā)明的技術缺陷，本公開的至少一種實施例提供一種適用于檢測晶...
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