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      探針卡的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):39622963

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      本發(fā)明涉及探針卡,更詳細(xì)而言,涉及具備柔性布線板的探針卡的改進(jìn)。背景技術(shù)、探針卡是在檢查形成于半導(dǎo)體晶片上的半導(dǎo)體器件的電特性時(shí)使用的檢查裝置,在布線基板上設(shè)置有與形成于半導(dǎo)體晶片上的兩個(gè)以上的電極分別接觸的兩個(gè)以上的探針。半導(dǎo)體器件的檢查如下進(jìn)行:使半導(dǎo)體晶片接近探針卡,使探針的前端與半導(dǎo)體晶片上的電極接觸,經(jīng)由探針以及布線基板使測(cè)試器裝置與半導(dǎo)體器件導(dǎo)通。、以往已知有將探針安裝于柔性布線板的探針卡(例如,專利文獻(xiàn))。專利文獻(xiàn)所記載的探針卡的探針安裝于柔性布線板的下表面中央部。該柔性布...
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