技術(shù)編號(hào):39623008
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本說(shuō)明書(shū)涉及用于分析具有平行面的基底的表面質(zhì)量的系統(tǒng)和方法,并且更具體地,涉及對(duì)這種基底的表面的變形的分析。背景技術(shù)、具有平行面的材料(在本說(shuō)明書(shū)中簡(jiǎn)單地稱(chēng)為“基底”)的表面形貌在許多領(lǐng)域中是相關(guān)的,這些材料可能包括例如用于計(jì)算機(jī)硬盤(pán)的玻璃基底、用于半導(dǎo)體工業(yè)的硅光掩模和晶片、用于移動(dòng)設(shè)備的平板屏幕和玻璃顯示器、窗戶、x射線望遠(yuǎn)鏡光學(xué)器件、濾光器、分束器、保護(hù)性圓頂?shù)?。、重要的是能夠研究和量化這種基底的表面的任何變形,因?yàn)檫@些變形可能在使用這種基底的系統(tǒng)中引起畸變。、用于分析基底的表面質(zhì)量...
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