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      慣性傳感器和慣性測(cè)量裝置的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):39685080

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      本發(fā)明涉及慣性傳感器和具備該慣性傳感器的慣性測(cè)量裝置。背景技術(shù)、近年來(lái),開發(fā)了利用mems(micro?electro?mechanical?system:微電子機(jī)械系統(tǒng))結(jié)構(gòu)的慣性傳感器。作為這樣的慣性傳感器,在專利文獻(xiàn)中記載有檢測(cè)z軸方向的加速度的加速度傳感器。、專利文獻(xiàn)記載的加速度傳感器具備:第一導(dǎo)電部、被保持在第一導(dǎo)電部的第一電極、第二導(dǎo)電部、以及被保持在第二導(dǎo)電部的第二電極,第一電極的高度方向的長(zhǎng)度比第一導(dǎo)電部的高度方向的長(zhǎng)度短,第二電極的高度方向的長(zhǎng)度比第二導(dǎo)電部的高度方向的...
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