技術(shù)編號(hào):39685080
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及慣性傳感器和具備該慣性傳感器的慣性測(cè)量裝置。背景技術(shù)、近年來(lái),開發(fā)了利用mems(micro?electro?mechanical?system:微電子機(jī)械系統(tǒng))結(jié)構(gòu)的慣性傳感器。作為這樣的慣性傳感器,在專利文獻(xiàn)中記載有檢測(cè)z軸方向的加速度的加速度傳感器。、專利文獻(xiàn)記載的加速度傳感器具備:第一導(dǎo)電部、被保持在第一導(dǎo)電部的第一電極、第二導(dǎo)電部、以及被保持在第二導(dǎo)電部的第二電極,第一電極的高度方向的長(zhǎng)度比第一導(dǎo)電部的高度方向的長(zhǎng)度短,第二電極的高度方向的長(zhǎng)度比第二導(dǎo)電部的高度方向的...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。