技術(shù)編號(hào)：39726545
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及慣性傳感器，具體涉及一種mems慣性傳感器及其集成制作方法，可廣泛應(yīng)用于慣性導(dǎo)航、無(wú)人機(jī)、自動(dòng)駕駛、智能制造及高端工業(yè)領(lǐng)域。背景技術(shù)、慣性傳感器包含加速度計(jì)和陀螺儀以及它們單、雙、三軸組合，其中加速度計(jì)用來(lái)測(cè)量物體的加速度，陀螺儀用來(lái)測(cè)量物體的角速度，加速度和角速度的綜合測(cè)試可以清楚的描述物體的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)。單個(gè)的集成mems慣性器件需匹配對(duì)應(yīng)的電路進(jìn)行信號(hào)的輸出，集成mems慣性器件與配套電路的集成將影響慣性傳感器的最終狀態(tài)。、現(xiàn)有mems慣性表頭單元和asic單元的封裝方式均采用單...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。