技術(shù)編號:39754820
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本公開涉及半導(dǎo)體器件及其制造方法,更具體地,涉及一種包括場效應(yīng)晶體管的半導(dǎo)體器件及其制造方法。背景技術(shù)、半導(dǎo)體器件包括具有金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管(mosfet)的集成電路。隨著半導(dǎo)體器件的尺寸和設(shè)計規(guī)則逐漸地減少,mosfet的尺寸也日益按比例縮小。mosfet的按比例縮小可能使半導(dǎo)體器件的工作特性劣化。因此,已經(jīng)進(jìn)行各種研究來開發(fā)制造具有小規(guī)模而沒有劣化的工作特性的半導(dǎo)體器件的方法。技術(shù)實現(xiàn)思路、一些實施例提供了一種具有提高的可靠性和改善的電氣性質(zhì)的半導(dǎo)體器件。、一些實施例提供了一...
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