技術(shù)編號(hào):39959296
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的一個(gè)方面涉及鑲嵌(damascene)配線構(gòu)造、致動(dòng)裝置和鑲嵌配線構(gòu)造的制造方法。背景技術(shù)、現(xiàn)有技術(shù)中,已知有通過(guò)在槽部?jī)?nèi)埋入金屬材料來(lái)形成配線部的鑲嵌配線構(gòu)造(例如參照專(zhuān)利文獻(xiàn))。在這樣的鑲嵌配線構(gòu)造中,在槽部的內(nèi)表面上設(shè)置有金屬層,配線部與該金屬層接合。、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)、專(zhuān)利文獻(xiàn)、專(zhuān)利文獻(xiàn):日本特開(kāi)平-號(hào)公報(bào)技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題、在上述的鑲嵌配線構(gòu)造中,存在對(duì)配線部和金屬層作用應(yīng)力的情況。例如,在利用了通過(guò)與磁場(chǎng)的相互作用而作用于線圈的洛倫茨力...
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