技術編號：39991719
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于靶材加工，具體涉及一種用于圓筒靶材的燒結爐。背景技術、現(xiàn)有的圓筒靶材的燒結方式通常為：在燒結爐內放置氧化鋁板，然后在氧化鋁板上面放置若干氧化鋁墊片，再將圓筒靶材放置在氧化鋁墊片上進行高溫燒結。目前，在燒結過程中，圓筒靶材的底部與墊片之間的摩擦力較大，即墊片對圓筒靶材的阻力較大，導致圓筒靶材收縮過程中底部容易變形。技術實現(xiàn)思路、本發(fā)明要解決的技術問題在于：現(xiàn)有的圓筒靶材燒結過程中容易發(fā)生變形，為了解決上述技術問題，提供一種能夠避免圓筒靶材變形的用于圓筒靶材的燒結爐。、本發(fā)明提出的技...
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