技術(shù)編號：40083414
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本申請涉及mems，具體而言，涉及一種集成溫度檢測的壓電式mems加速度計及制備方法。背景技術(shù)、mems加速度計對溫度變化的高度敏感性是一個重要的技術(shù)挑戰(zhàn)，這種敏感性源于其內(nèi)部微機械結(jié)構(gòu)和電子元件的熱學(xué)特性。當(dāng)環(huán)境溫度發(fā)生變化時，mems加速度計的材料會發(fā)生熱脹冷縮，壓電材料的壓電系數(shù)等特性隨溫度變化，同時電路中的電阻、電容等元件的性能也會受到影響，這些因素共同導(dǎo)致加速度計的測量精度下降。、現(xiàn)有的mems加速度計，由于沒有原位溫度檢測功能，mems加速度計無法實時感知并補償由溫度變化引起的誤...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。