技術編號：40160431
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本技術涉及硅芯清洗，尤其涉及一種可有效提高清洗全面性的硅芯清洗架。背景技術、硅芯是指硅材料制成的半導體芯片，也稱為硅晶片。硅材料是一種半導體材料，具有良好的導電性和絕緣性能，可以制成各種電子元器件，包括晶體管、集成電路等。在對于硅芯的清洗中，人員可采用化學方式較多，具有代表性的便是化學清洗的方式，其具體操作內(nèi)容是使用化學劑，如氫氧化鈉或氫氟酸等，與硅基芯片表面的污染物發(fā)生反應，將其溶解或轉化成易于清洗的物質。、在人員進行對于硅芯清洗的過程中，依靠硅芯與化學劑浸泡的方式，雖能夠達到清洗的效果，...
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