技術(shù)編號：40195723
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及紅外探測器領(lǐng)域，尤其涉及一種吸氣劑可電激活的紅外探測器結(jié)構(gòu)及其制造方法。背景技術(shù)、隨著近年來科技不斷的進(jìn)步以及社會不斷的發(fā)展，微機(jī)電系統(tǒng)(mems)得到了極大的發(fā)展，相應(yīng)的，mems傳感器也得到了極大的發(fā)展，其已經(jīng)廣泛的應(yīng)用于汽車、安防、物醫(yī)學(xué)、電力、智慧樓宇、森林防火、智能手機(jī)和物聯(lián)網(wǎng)等領(lǐng)域。、隨著紅外探測技術(shù)的不斷發(fā)展，晶圓級封裝(wafer?level?package，簡稱為wlp)逐漸成為最重要的封裝形式。由于晶圓級封裝探測器的敏感像元需要工作在高真空狀態(tài)下，需要吸氣劑在探...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。