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      一種光刻版保護(hù)膜貼膜治具的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):40272332

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      本發(fā)明涉及一種貼膜治具,具體涉及一種光刻版保護(hù)膜貼膜治具,屬于半導(dǎo)體封裝光刻曝光工藝。背景技術(shù)、光刻是一種圖形復(fù)印和化學(xué)腐蝕相結(jié)合的精密表面加工綜合性技術(shù)。是用照相復(fù)印的方法將光刻版上的圖形經(jīng)過紫外光照射,顯影后在膠膜上形成相應(yīng)圖形的過程。該過程對(duì)光刻版上圖形的清晰性和完整度有著較高的要求,因此對(duì)光刻版上鉻層圖形的保護(hù)尤為重要。、目前,光刻版圖形的本體表面會(huì)蒙貼一層保護(hù)膜,用以隔絕灰塵顆粒對(duì)鉻層圖形的污染。當(dāng)某塊光刻版重復(fù)曝光作業(yè)達(dá)到膜壽命極限或受其他人為因素影響,保護(hù)膜會(huì)發(fā)生變色,褶皺,破...
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