技術(shù)編號(hào)：40272368
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及碳化硅加工，尤其涉及一種碳化硅籽晶粘接工藝及粘接用輔助裝置。背景技術(shù)、籽晶需要通過膠水粘接于承載底座表面，為了滿足后續(xù)生產(chǎn)的需求，在膠粘的過程中需要保證膠水分布的相對(duì)均勻，同時(shí)應(yīng)當(dāng)排出膠水內(nèi)的氣體，避免粘接處出現(xiàn)氣孔缺陷。、為了保證膠水分布的相對(duì)均勻，部分設(shè)計(jì)通過刮板結(jié)構(gòu)對(duì)膠水表面進(jìn)行刮平，以保證膠水分布的相對(duì)均勻；但是，通過刮板直接對(duì)膠水進(jìn)行接觸，一方面會(huì)影響膠水的數(shù)量，導(dǎo)致承載底座表面的膠水填涂量無法達(dá)到預(yù)期；并且，通過直接接觸的方式對(duì)膠水進(jìn)行刮平，刮板表面會(huì)殘留部分膠水，影響...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。