技術(shù)編號:40276505
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本技術(shù)屬于長晶爐,具體涉及一種新型長晶爐加熱裝置。背景技術(shù)、長晶爐在對單晶硅進行制作過程中,是將多晶硅料置于坩堝內(nèi),并將硅料在約℃的溫度熔化為液態(tài)硅后,將具預(yù)定結(jié)晶取向的硅晶種下降以接觸液態(tài)硅的表面,在適當(dāng)?shù)臏囟瓤刂葡?,液態(tài)硅在硅晶種上形成具有與所述硅晶種所具預(yù)定結(jié)晶取向的單晶,接著旋轉(zhuǎn)并慢慢提拉硅晶種及坩堝,以在硅晶種下方形成硅晶棒;、現(xiàn)有技術(shù)中,公開號:cnu的中國實用新型內(nèi)容,公開了一種晶體生長爐加熱裝置,包括固定柱,所述固定柱的外表面穿插設(shè)置有把手,所述把手...
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