技術(shù)編號：40276545
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及光學檢測領域，尤其涉及一種缺陷檢測裝置。背景技術(shù)、在精密制造業(yè)中，由于生產(chǎn)工藝的復雜性、多樣性，在機器加工和人工操作的過程中可能會在產(chǎn)品的表面和內(nèi)部產(chǎn)生局部的細微缺損，例如氣孔、劃痕、裂紋等，造成產(chǎn)品的缺陷。為了保證產(chǎn)品的成品率，缺陷檢測就尤為重要。、掩膜版的缺陷檢測不僅存在于表面，也可能存在于掩膜版內(nèi)部；對于存在于掩膜版內(nèi)部的缺陷，有時需要知道缺陷的空間坐標，從而達到精確定位的目的；同時常用的實施方案相對單一，很難兼顧多元化檢測方法。技術(shù)實現(xiàn)思路、本發(fā)明實施例提供一種缺陷檢測裝...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。