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      包括電容元件的集成電路和制造方法與流程技術資料下載

      技術編號:40276596

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      本發(fā)明的實施例和實現(xiàn)涉及集成電路,特別是低壓電容元件。背景技術、實際上,用于處理集成電路的射頻信號的部件和模擬部件特別需要具有用于低電壓(通常用于其端子處接近v的電壓)的線性電容值的電容器。、例如,在.v和.v之間,小于電容值的%至%的變化被認為是可接受的。、通常,這種電容器是由通過例如mom(金屬-氧化物-金屬)類型的電介質(zhì)層分離的導電材料的兩層的界面制成的。、然而,根據(jù)該方法(mom類型)制成的電容器具有例如大約ff/μm的相對低的每單位面積的電容值,并且可以占...
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