技術(shù)編號：40276710
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及四氯化硅回收，具體是一種四氯化硅除碳研發(fā)用回收裝置。背景技術(shù)、現(xiàn)有四氯化硅尾氣回收系統(tǒng)，回收過程使用的加熱設(shè)備、氫化設(shè)備等，設(shè)備工藝要求嚴(yán)格、造價高，耗能大，將四氯化硅熱氫化后生成多晶硅的原料，只是回收了部分四氯化硅，回收不徹底，仍然會產(chǎn)生環(huán)境污染。、在公開號為cnu的實(shí)用新型專利中提出了一種四氯化硅精餾尾氣回收系統(tǒng)，該四氯化硅精餾尾氣回收系統(tǒng)采用循環(huán)冷卻水，使尾氣冷卻為液態(tài)，同時減小了能耗；采用緩沖器、第一液封器和第二液封器最大限度的減少了四氯化硅精餾尾氣對外界...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。