技術(shù)編號(hào)：40278765
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及加速器，特別涉及一種多級(jí)差分腔結(jié)構(gòu)、抽真空系統(tǒng)及抽真空方法。背景技術(shù)、在加速器領(lǐng)域，真空差分技術(shù)應(yīng)用非常廣泛，尤其是在同步輻射及自由電子激光裝置中。真空差分技術(shù)主要基于壓差原理，一般在多個(gè)腔室之間使用真空泵產(chǎn)生不同腔室的真空度差異，從而實(shí)現(xiàn)逐級(jí)抽真空。隨著加速器技術(shù)的不斷發(fā)展，真空差分的量級(jí)在不斷上升，對(duì)差分系統(tǒng)的性能提出了新的高度。傳統(tǒng)真空差分系統(tǒng)一般由機(jī)械泵、分子泵和離子泵逐級(jí)差分至超高真空，由于上游設(shè)備的充氣壓力非常高，需要的第一級(jí)機(jī)械泵的抽速非常大，才能滿足后續(xù)分子泵的差分運(yùn)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。