技術(shù)編號：40278829
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及晶片極化處理，尤其涉及一種近化學(xué)計量比鉭酸鋰晶片的周期極化方法。背景技術(shù)、外加電場極化法是目前對鉭酸鋰進行疇反轉(zhuǎn)最常用、最簡單、最成熟的方法之一，已實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。極化過程可在室溫下進行，并且極化反轉(zhuǎn)深度可以貫穿整個晶圓厚度，周期結(jié)構(gòu)可達微米量級，具有較好的可重復(fù)性，能夠反復(fù)進行反轉(zhuǎn)，疇反轉(zhuǎn)制作成本低。但該方法的操作靈活性不好，極化所需的外部電場高，制備的疇結(jié)構(gòu)會出現(xiàn)橫向生長從而影響周期疇結(jié)構(gòu)及占空比，難以制造亞微米尺寸以下的疇結(jié)構(gòu)。外加電場極化反轉(zhuǎn)的機理是根據(jù)樣品的矯頑場，然后施加與樣...
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