国产精品1024永久观看,大尺度欧美暖暖视频在线观看,亚洲宅男精品一区在线观看,欧美日韩一区二区三区视频,2021中文字幕在线观看

  • <option id="fbvk0"></option>
    1. <rt id="fbvk0"><tr id="fbvk0"></tr></rt>
      <center id="fbvk0"><optgroup id="fbvk0"></optgroup></center>
      <center id="fbvk0"></center>

      <li id="fbvk0"><abbr id="fbvk0"><dl id="fbvk0"></dl></abbr></li>
      復(fù)合機(jī)器人的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):40279289

      提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。

      本發(fā)明涉及晶圓加工,尤其涉及一種復(fù)合機(jī)器人。背景技術(shù)、在半導(dǎo)體制造工廠(chǎng)中,晶圓通常需要在各個(gè)生產(chǎn)線(xiàn)上不同工藝模塊之間進(jìn)行精密的傳輸搬運(yùn)。通常由agv加機(jī)械臂組合完成,可稱(chēng)為帶有機(jī)械臂的移動(dòng)機(jī)器人(簡(jiǎn)稱(chēng)arv)。半導(dǎo)體制造對(duì)環(huán)境要求非常嚴(yán)苛,尤其是,地面平整度直接影響arv運(yùn)行的流暢性,以及晶圓轉(zhuǎn)移位置的精準(zhǔn)性;其中,當(dāng)?shù)孛娉霈F(xiàn)較小(毫米級(jí))的凹坑時(shí),arv的四個(gè)輪子中的一個(gè)輪子可能出現(xiàn)懸空的狀態(tài),機(jī)械臂動(dòng)作過(guò)程中,arv可能由于重心的變化而導(dǎo)致側(cè)傾,即懸空的輪子可能會(huì)由于重心的變化而下移并與凹...
      注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
      該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

      詳細(xì)技術(shù)文檔下載地址↓↓

      提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。
      該分類(lèi)下的技術(shù)專(zhuān)家--如需求助專(zhuān)家,請(qǐng)聯(lián)系客服
      • 呂老師:1. 功能包裝材料 2.包裝管理與法規(guī)
      • 高老師:1. 壓力容器及管道強(qiáng)度分析與結(jié)構(gòu)優(yōu)化 2. 壓力容器及管道循環(huán)塑性分析與可靠性研究 3. 過(guò)程裝備檢測(cè)技術(shù)與結(jié)構(gòu)完整性評(píng)價(jià) 4. 過(guò)程及裝備計(jì)算機(jī)輔助工程
      • 郭老師:1.食品保鮮材料和技術(shù) 2.功能性高分子材料 3.環(huán)境友好型粘合劑