技術(shù)編號：40279627
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及單晶爐，具體涉及一種單晶爐隔離閥及單晶爐。背景技術(shù)、單晶爐隔離閥是單晶爐的重要的組成部分，它的主要作用是對單晶爐的主爐室和副爐室進行隔離或連通，為籽晶或晶棒提供進入副爐室的通道，維持主爐室和副爐室的局部壓力和溫度。、目前，現(xiàn)有的單晶爐主要采用的是翻轉(zhuǎn)式結(jié)構(gòu)的隔離閥，例如，授權(quán)公告號為cnu，公開的一種單晶爐用隔離閥座，包括閥座基體、設(shè)置于閥座基體內(nèi)的翻板閥，所述翻板閥頂壁連接有閥桿，所述閥桿底壁平行于翻板閥頂壁，所述閥桿底壁長度方向的一端與翻板閥固定連接，另一端連...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。