技術(shù)編號(hào):40279965
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本公開涉及一種在工件上造型層疊結(jié)構(gòu)的檢流計(jì)掃描振鏡。背景技術(shù)、檢流計(jì)掃描振鏡例如具有反射鏡和反射鏡驅(qū)動(dòng)裝置。反射鏡包括第一反射鏡和第二反射鏡。反射鏡驅(qū)動(dòng)裝置包括使第一反射鏡繞第一軸線轉(zhuǎn)動(dòng)的第一轉(zhuǎn)動(dòng)裝置和使第二反射鏡繞第二軸線轉(zhuǎn)動(dòng)的第二轉(zhuǎn)動(dòng)裝置。、從激光光源射出的激光束依次被第一反射鏡和第二反射鏡反射而照射到工件的表面。第一轉(zhuǎn)動(dòng)裝置通過使第一反射鏡轉(zhuǎn)動(dòng),來使在工件上的激光束的坐標(biāo)在第一方向上掃描。第二轉(zhuǎn)動(dòng)裝置通過使第二反射鏡轉(zhuǎn)動(dòng),來使在工件上的激光束的坐標(biāo)在第二方向上掃描。檢流計(jì)掃描振鏡通過激...
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