技術(shù)編號：40280016
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種用于投射光刻的照明光學(xué)單元。此外，本發(fā)明涉及一種包含此照明光學(xué)單元的光學(xué)系統(tǒng)、一種包含此照明光學(xué)單元的照明系統(tǒng)、一種包含此光學(xué)系統(tǒng)的投射曝光設(shè)備、一種用于制造微結(jié)構(gòu)或納米結(jié)構(gòu)部件的方法及一種由該方法制造的部件。背景技術(shù)、從us/?a、de?????a、us?,,、wo?/a和wo?/?a中已知一開始闡述的類型的照明光學(xué)單元。de???a公開了一種用于照明系...
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