技術(shù)編號:40280059
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及濃度測定裝置、濃度測定方法、原料氣化系統(tǒng)及原料氣化系統(tǒng)的濃度測定方法。背景技術(shù)、以往,提供一種濃度測定裝置,所述濃度測定裝置對氣體中所含的測定對象成分的濃度進(jìn)行測定,在所述濃度測定裝置中,基于氣體中所含的測定對象成分的分壓及氣體的總壓來計算出濃度。、例如,在專利文獻(xiàn)中示出了一種原料氣化系統(tǒng)的濃度測定裝置。此處,所謂原料氣化系統(tǒng),是指向收容于罐內(nèi)的液體或固體的原料導(dǎo)入載氣而進(jìn)行氣化并供給包含由此而產(chǎn)生的原料氣體及載氣的混合氣體的系統(tǒng)。、此種原料氣化系統(tǒng)的濃度測定裝置通過計算出罐內(nèi)...
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