技術(shù)編號(hào):40280266
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體,具體涉及一種功率放大電路、射頻電源和半導(dǎo)體工藝設(shè)備。背景技術(shù)、射頻電源是半導(dǎo)體工藝設(shè)備的核心零部件,如圖所示,圖為一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖,射頻電源通過(guò)匹配器向工藝腔室提供射頻信號(hào),用于進(jìn)行刻蝕、沉積或離子注入等工藝過(guò)程。其中,匹配器用于實(shí)現(xiàn)射頻電源與工藝腔室的阻抗匹配。、作為射頻電源的核心部分,射頻功率放大器可以由多級(jí)功率放大電路組成。如圖所示,圖為一種射頻功率放大器的結(jié)構(gòu)示意圖,射頻功率放大器可以由前級(jí)功率放大電路和末級(jí)功率...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。
該類(lèi)技術(shù)注重原理思路,無(wú)完整電路圖,適合研究學(xué)習(xí)。