技術(shù)編號：40280303
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體晶體退火爐領(lǐng)域，具體涉及一種退火爐用鐘罩升降結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)、現(xiàn)有的退火爐鐘罩升降結(jié)構(gòu)位于框架內(nèi)部，在鐘罩升降過程中沒有裝置進(jìn)行導(dǎo)向。隨著升降行程的變化，框架的高度也要隨之變化，并且在升降過程中鐘罩可能出現(xiàn)左右晃動的情況。技術(shù)實現(xiàn)思路、針對現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本發(fā)明提供一種退火爐用鐘罩升降結(jié)構(gòu)，以解決上述至少一種技術(shù)問題。、本發(fā)明的技術(shù)方案是：一種退火爐用鐘罩升降結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括升降功能實現(xiàn)組件、鐘罩連接結(jié)構(gòu)和升降導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，所述升降功能實現(xiàn)組件包括支撐固定組件和升降組件...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。