技術(shù)編號：40280365
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及數(shù)字式揚(yáng)聲器，尤其涉及一種發(fā)聲單元的制作方法和發(fā)聲單元。背景技術(shù)、發(fā)聲單元是電聲領(lǐng)域中一種常見的電聲轉(zhuǎn)換器件，其在電聲系統(tǒng)中發(fā)揮著極其重要的作用。、現(xiàn)有技術(shù)中，靜電式mems(microelectro?mechanical?systems，微機(jī)電系統(tǒng))發(fā)聲單元一般包括基底、絕緣層、電極層和振膜。在實際制作過程中，會去除犧牲層以釋放振膜和電極層之間的空間，形成懸空振膜結(jié)構(gòu)。、但是，在去除犧牲層的過程中，位于相鄰兩個發(fā)聲單元之間的絕緣層極易被去除。此時會導(dǎo)致相鄰兩個發(fā)聲單元的腔體連通...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。