技術(shù)編號(hào):40280682
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及mems振動(dòng)陀螺,尤其涉及一種具有多功能電極的mems環(huán)形陀螺諧振子結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)、mems振動(dòng)陀螺是一種基于哥氏效應(yīng)的角速度傳感器,具有體積小、可靠性高、質(zhì)量輕、功耗低、價(jià)格低以及可批量化生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn),廣泛應(yīng)用在航空航天、工業(yè)、汽車(chē)電子以及消費(fèi)電子等領(lǐng)域,市場(chǎng)前景廣闊。mems環(huán)形振動(dòng)陀螺具有全對(duì)稱(chēng)結(jié)構(gòu)特征,工作在n=的簡(jiǎn)并模態(tài),驅(qū)動(dòng)和檢測(cè)模態(tài)相同,q值高、靈敏度高、噪聲小,具有良好的抗沖擊性能、溫度特性以及加工魯棒性,成為高性能mems振動(dòng)陀螺的主要技術(shù)方向。mems環(huán)形陀螺主要...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。