技術(shù)編號(hào)：40280935
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及發(fā)光二極管領(lǐng)域，尤其涉及一種垂直腔面發(fā)射激光器及其制備方法。背景技術(shù)、垂直腔面發(fā)射激光器是一種半導(dǎo)體微腔激光器，相較于傳統(tǒng)的邊發(fā)射激光器，垂直腔面發(fā)射激光器由于具有低閾值電流、體積小、圓對(duì)稱光斑易于光纖耦合、高光束質(zhì)量、單縱模、面發(fā)射易于集成等優(yōu)勢(shì)，使其在近年來得到了迅猛的發(fā)展，廣泛應(yīng)用于人臉識(shí)別等三維傳感、光通信、激光雷達(dá)、無人駕駛等領(lǐng)域中。、為提高vcsel芯片的出光密度，需制作陣列結(jié)構(gòu)的vcsel；目前在設(shè)計(jì)vcsel陣列芯片時(shí)，通常是將多個(gè)發(fā)光點(diǎn)孔徑大小相同、中心距一致的v...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。