技術(shù)編號：40281112
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及集成電路測試，尤其涉及一種探針臺蓋板調(diào)平方法及系統(tǒng)。背景技術(shù)、隨著現(xiàn)代科技發(fā)展，芯片功能集成度越來越高，芯片的管腳也相應(yīng)的越來越多；那么對于測試機(jī)通道數(shù)需求也越高，就拿一般soc的測試機(jī)配置來說，數(shù)字通道加上電源通道可達(dá)～個。再加上對于測試成本的考慮，希望并測數(shù)越來越高，這樣導(dǎo)致晶圓測試用的的探針卡pin?count可達(dá)～pin。、然而，在將探針卡安裝到探針臺上時(shí)，如果探針臺蓋板的平整度不統(tǒng)一，會導(dǎo)致在測試時(shí)個別pin針接觸不良，容易出測試低良率...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。