技術(shù)編號(hào):40281569
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及廢氣處理,尤其涉及一種硅片酸洗廢氣處理裝置及廢氣處理方法。背景技術(shù)、硅片酸洗是通過(guò)酸性清潔劑清除硅片表面的離子和沉淀物的過(guò)程,常用的酸性清洗劑有硝酸、氫氟酸及硫酸等,在對(duì)硅片進(jìn)行酸洗的過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生大量的氮氧化物廢氣,該廢氣的主要成分為一氧化氮、二氧化氮、三氧化二氮、四氧化二氮及五氧化二氮等,由于三氧化二氮、四氧化二氮及五氧化二氮極不穩(wěn)定,一般會(huì)分解為一氧化氮和二氧化氮,而一氧化氮遇到空氣后會(huì)被氧化為二氧化氮,所以氮氧化物廢氣的主要成分為二氧化氮;同時(shí),在硅片酸洗的過(guò)程中,還有少量的硝...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。