技術(shù)編號：40281965
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本公開的一個實施方式涉及研磨裝置、研磨方法以及機械部件。背景技術(shù)、在半導體裝置、用于顯示裝置的顯示面板等各種電子部件的制造工序中，進行在真空中的處理。在構(gòu)成這種在真空中的處理中使用的真空容器的部件的相互接觸的部分，為了確保容器內(nèi)部的密封性，在所接觸的部件中的一方或雙方設置凹槽，并在該凹槽設置o形環(huán)等密封部件。在專利文獻中，公開了一種使用彈簧頸(spring?neck)切削刀具來對工件進行切削的切削加工方法。、(現(xiàn)有技術(shù)文獻)、(專利文獻)、專利文獻：日本特開平-號公報...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。