技術(shù)編號(hào)：40282028
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本公開(kāi)涉及多孔燒結(jié)無(wú)機(jī)體，其包含由不同金屬粒子制成的多個(gè)層、可用作濾膜且還涉及制作及使用多孔燒結(jié)無(wú)機(jī)體的方法。背景技術(shù)、多孔燒結(jié)體用于多種工業(yè)應(yīng)用，包含其中將多孔燒結(jié)體用作濾膜以從制造中使用的流體移除污染物的應(yīng)用。許多制造工藝需要極純流體作為原料或處理流體。例如，半導(dǎo)體及微電子裝置制造的許多不同階段需要使用高純氣體或液體作為原料，且將高純處理流體用于例如清潔、蝕刻、干燥及其它表面或材料制備步驟的步驟。為在制造期間提供高純流體，無(wú)機(jī)多孔薄膜通常用作過(guò)濾元件以剛好在使用流體之前從流體移除污染物。...
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