技術編號：40282909
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體用超高純石墨熱場，屬于半導體制造。背景技術、石墨熱場由石墨材料制成，具有良好的導熱性、化學穩(wěn)定性、高純度、耐高溫性和易于加工的特點。在半導體工業(yè)中，石墨熱場被廣泛應用于半導體材料的加熱和冷卻過程；在新能源領域中，石墨熱場被廣泛應用于太陽能電池的生產(chǎn)過程中。、石墨熱場一般包括壓環(huán)、保溫蓋、上中下保溫罩、石墨坩堝、坩堝托桿、坩堝托盤、電極、石墨加熱器、導流筒、石墨螺栓等部件，這些部件都是為了實現(xiàn)石墨熱場的加熱和保溫功能。石墨熱場的核心部件是石墨加熱器和石墨坩堝，石墨加熱器負責將電...
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