技術(shù)編號：40283110
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及等離子清洗設(shè)備領(lǐng)域，具體提供一種密封腔氣體導(dǎo)送裝置及等離子清洗機(jī)。背景技術(shù)、等離子清洗是半導(dǎo)體行業(yè)中重要的技術(shù)環(huán)節(jié)和步驟，是不可或缺的工藝過程。等離子清洗就是在密封腔內(nèi)輸入等離子本體氣體，并將其電離為等離子體進(jìn)行清洗的過程。為提高等離子清洗的品質(zhì)，需要先將密封腔抽真空，然后輸入等離子本體氣體，再電離氣體進(jìn)行清洗。等離子氣體在密封腔內(nèi)分布越均勻，清洗的品質(zhì)就越高。一般會在密封腔的四壁(包括需要開啟的前門)分布導(dǎo)氣管和散氣孔。、現(xiàn)有技術(shù)中主要是通過軟管連接密封腔內(nèi)氣管與前門氣管，但普遍...
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