技術(shù)編號：40284002
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本公開的實施例總體上涉及一種密封構(gòu)件，如o形環(huán)或類似物，其安裝在形成于部件的面中的密封槽中。背景技術(shù)、在一些設(shè)備中，如用于電子芯片制造的設(shè)備中，需要一個部件的面與另一部件的面密封地接合。通常，安裝在形成于部件之一的面中的密封槽中的密封構(gòu)件(如o形環(huán))可以是幾英尺長，并且可能沿著錯綜復雜的路徑(如螺旋形路徑)。在一些應(yīng)用中，部件的幾何形狀和制造公差需要密封槽和密封構(gòu)件相對較薄，這可能導致密封構(gòu)件沿著密封構(gòu)件的長度在一個或多個離散位置處泄漏。、因此，需要一種改進的密封構(gòu)件。技術(shù)實現(xiàn)思路、本公開...
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