技術(shù)編號(hào)：40336588
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本申請(qǐng)涉及襯底加工領(lǐng)域，特別是涉及一種襯底載具及其制備方法。背景技術(shù)、加工設(shè)備的襯底載臺(tái)扮演著至關(guān)重要的角色，它不僅能夠確保襯底在加工過程中的穩(wěn)定性和精確性，還能保證加工過程的順利進(jìn)行和最終產(chǎn)品的質(zhì)量。為了確保襯底上的圖案或器件能夠準(zhǔn)確無誤地與加工設(shè)備上的相應(yīng)部分對(duì)準(zhǔn)，襯底載臺(tái)通常配備有精密的定位和對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。由于定位和對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)只能對(duì)相應(yīng)尺寸的襯底進(jìn)行定位和對(duì)準(zhǔn)，因此，將尺寸不匹配的襯底放置在載臺(tái)無法實(shí)現(xiàn)定位和對(duì)準(zhǔn)。若要加工多種尺寸的襯底，則需要定制對(duì)應(yīng)的設(shè)備，提高了生產(chǎn)成本。技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、為...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。