技術編號：40345793
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本技術涉及搬運設備，具體而言，涉及一種旋轉(zhuǎn)限位裝置及晶圓搬運機械手。背景技術、晶圓是晶棒經(jīng)過研磨、拋光、切片后形成的片狀結(jié)構(gòu)，隨著科學技術的快速發(fā)展，對晶圓加工技術和加工環(huán)境的要求越來越高，相應地，對晶圓搬運機械手對于復雜工況的適應性以及運行的平穩(wěn)性也隨之提高。、晶圓搬運機械手在工作過程中存在旋轉(zhuǎn)工況，目前，一些晶圓搬運機械手只能在°范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)，難以適應復雜的晶圓搬運環(huán)境?；诖?，還有一些晶圓搬運機械手設置了可以旋轉(zhuǎn)超過°的關節(jié)模塊，但其為防止線纜過度纏繞而采取的硬停止保護措施，...
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